Комбинированные электроразрядные геттерно-ионные вакуумные насосы. Обзорная информация

Аннотация издательства: В обзоре систематизированы сведения по комбинированным электроразрядным геттерно-ионным насосам и новейшим техническим решениям, касающимся магниторазрядных и геттерных испарительных насосов, их достоинства и недостатки, конструктивные особенности и вакуум-технические характеристики. В обзоре использованы опубликованные отечественные и зарубежные издания и патентные материалы. Обзор предназначен для специалистов, занимающихся вопросами создания безмасляного сверхвысокого вакуума.